省科技重大专项！高新区这个项目获批立项

2024年度省科技重大专项立项结果

由苏州高新区企业

苏州矽行半导体技术有限公司申报的

“纳米级图形晶圆明场缺陷检测设备研发”项目

成功获批立项

江苏省科技重大专项是我省为发展新质生产力，打造具有全球影响力的产业科技创新中心，面向世界科技前沿、国家重大战略需求和我省经济社会发展需要，部署实施的科技重大专项，旨在通过专项的实施突破一批产业关键核心技术，形成标志性重大战略产品，推动科技创新和产业创新深度融合，赋能新兴产业高质量发展。

本年度省科技重大专项立项围绕第三代半导体、6G技术、人工智能、战略新材料、集成电路、生物医药、高端装备、新能源等重点领域。

“纳米级图形晶圆明场

缺陷检测设备研发”项目

该项目针对先进节点下纳米级图形晶圆明场缺陷检测设备的智能模型缺陷检测仿真技术、高性能光学系统及其核心零部件及高灵敏度智能视觉检测技术等核心技术进行重点攻关，全面提升我国在先进节点纳米级图形晶圆明场缺陷检测领域的科研攻关能力，将有力推动我省集成电路产业链的创新发展，促进产业转型升级。

项目申报方——苏州矽行半导体技术有限公司是科创板上市公司天准科技投资孵化的企业，专注从事半导体高端检测装备及核心部件研发和产业化。公司核心研发团队成员来自全球顶级半导体检测装备公司、国内头部晶圆厂先进制程团队等。

近年来，高新区坚持核心技术突破与产业能力提升并行的发展理念，加强科技研发与成果转化“无缝对接”，积极鼓励行业领军企业主导或参与国家级、省级重大科技计划，集中力量攻克高新技术产业和战略性新兴产业的关键核心技术，加强基础理论研究、前沿技术研发和重大产业化项目落地，加速构建开放协同的科技创新生态体系，为推动全区经济高质量发展提供强有力的科技支撑。

今年，高新区共有14个省级科技计划项目成功获批，涵盖省基础研究计划、省前沿技术研发等多个类别，这些项目主要集聚在医疗器械、电子信息、高端装备等领域，获得资金支持近3000万元。

面向未来，高新区将为各级科技计划项目的顺利实施保驾护航，进一步加强全区产业前瞻性技术研发和重大关键核心技术攻关，加快形成一批具有自主知识产权的原创性和标志性技术成果，推动构建高水平研发创新体系，不断助推全区战略性新兴产业培育和高新技术产业向中高端攀升，为产业集群融合发展突破成势贡献“高新力量”。